智能孔板流量计的研究与探讨 四十五

4．2差压变送器的选择

差压变送器选用德国SENSE公司生产的SDPS3单晶硅智能差压传感嚣。SOl(Silicon—Or]～Insulator)单晶硅高温压力传感器是采用硅、硅真接键合技术和浓硼自终止腐蚀技术相结合研制的压力传感器。该传感器用单晶硅材料做应变电阻，并以一层Sio₂薄膜将硅衬底与应变电阻隔离，形成单晶硅结构。其特点是：即利用了单晶硅的应变因子，提高了传感器的灵敏度；又利用了介质隔离代替P-N结隔离，减少漏电流，提高了传感嚣的工作温度；同时工艺上利用单晶硅的可重复性，与CMOS工艺完全兼容，易于实现集成化。

详情请浏览公司网站的产品中心 http://www.dlysys.com/ 流量计