临界流量流量计的探讨 四十三

半导体单晶硅材料在受到外力作用时，会产生肉眼察觉不到的极微小应变，其原子结构内部的电子能级状态将发生变化，从而导致其电阻率剧烈的变化，由这种材料制成的电阻也随之出现极大变化，这种物理效应称为压阻效应。硅压阻式传感器就是在硅片上用扩散或离子注入法形成四个阻值相等的电阻条，并将它们接成一个惠更斯电桥。当没有外加压力时，电桥处于平衡状态，电桥输出电压为零。当有外加压力时，电桥失去平衡，产生输出电压，该电压大小与外加压力有关，通过检测电压即可得到相应的压力值。

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