临界流量流量计的探讨 四十二

4．3．2压力测量

这部分内容主要是选取压力传感器，压力传感器是一种将压力转换成电压信号的器件。可用与压力、位移等量的测量。压力传感器种类繁多，经常使用的有金属应变片式传感器，但是应变片式传感器有许多缺点，如信号微弱，需经过多级放大处理，而且对信号处理电路的要求较高：同时金属应变片的工作频率也不能太高，若超过最高工作频率，则会产生较大的误差(金属应变片的最高工作频率与应变片的长度有关)。目前，由半导体材料制成的硅压阻式传感器因其性能良好、易集成等优点得到广泛应用。

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